性能稳定、可靠性高：由于工作弹性形变低至微应变数量级，弹性薄膜位移在亚微米数量级，因而无磨损、无疲劳、无老化。寿命长达107压力循环次以上。温度系数小： 由于微电子技术的进步，四个应变电阻的一致性可做的很高，加之激光修调技术、计算机自动补偿技术的进步，硅压阻传感器的零位与灵敏度温度系数已可达10-5/℃数量级,即在压力传感器领域已超过温度系数小的应变式传感器的水平。

压阻压力传感器的原理是敏感芯体受压后产生电阻变化,再通过放大电路将电阻的变化转换为标准信号输出。 压阻式芯体通用的有三类： 1、应变原理: 1）结构: 将压敏电阻以惠司通电桥形式与应变材料(通常为不锈钢)结合在一起。 2）特点: 过载能力,抗冲击压力强灵敏度较低 ,适合于测量500kpa以上的高量程范围,可达500mpa强度高,耐振动,不易损坏温度漂移小高量程(1mpa以上)线性很好,精度高硬性膜片结构,适合测量与应变材料兼容的各类介质。

扩散硅硅原理： 1）结构:在硅片上注入粒子形成惠司通电桥形式的压敏电阻。 2）特点:灵敏度很高,精度高,适合于测量1kpa～40mpa的范围,过压能力较强抗冲击压力较好温度漂移较大分为带隔离膜片和非隔离膜片2类,非隔离膜片只能测干净 的气体,隔离膜片为软性膜片,不适合测量粘稠的介质。

交叉灵敏度分析

交叉灵敏度既与传感器应变片自身的压阻系数、弹性模量、温度系数有关，又与电桥的供电电压有关，因此应变和温度同时作用于传感器时，传感器的输出不是应变和温度单独作用时产生的输出量的简单迭加，还存在着热力学和力学量的相互作用，这个作用反映为交叉灵敏度，其大小反映了这种相互作用的程度。