TREK645/646 静电卡盘电源

TREK 645软件驱动式静电卡盘电源，可满足各种要求苛刻的应用，效率及吞吐量是其它品牌产品的三倍，彻底消除了晶片粘贴及晶片爆裂的情况，能够更好地控制颗粒物对晶片的污染。

应用

TREK64强大通用性，可用于多种特有的工具/工艺，而不需要为每种不同的工具/工艺选配一种新电源。并内置抓取晶片检测功能（临界值可通过程序设置）：指明晶片抓取事件，由低压正弦波产生的电容性电流，在相位A及相位B输出上叠加合成，可被监测但是也可通过程序设置禁用。叠加波形用于指示无晶片，有晶片，或晶片夹紧状态。

静电吸附驱动的材料抓取搬运；半导体晶片加工；平板及其它加工材料的非机械化转移，材料不适合机械夹持方法的。

输出相位

同步高压输出：两个同步高压输出（输出相位A及输出相位B）幅度相同，极性与补偿电压相反。

电压A（基准相位）: 0 to ±2KV

电压B（相位B=[-1]x 相位A）：0 to ±2KV

输出电压范围：0 to ±2KV DC

输出电流范围：0 to ±6.5mA DC 峰值容量10mA

内部控制

补偿电压（此功能可通过程序禁用）：一个高达±2KV的补偿电压可同步添加到每个相位的输出。不管A和B处的电压和极性是什么，添加补偿电压后，补偿电压的幅值及极性同时在输出A及B处出现。补偿电压和每个相位的输出电压总和不能超过±2KV。

输出波形：每个DC输出电压（相位A及相位B）的高低与时间的升降对称 ，或者可通过用户设定的夹持及松开的波形来编辑。

输入

设置高压值：HV幅值可以通过设备在内部或从外部控制

设置补偿电压：补偿电压可以通过设备在内部或从外部控制

输出电压监视器（背板连接器）

输出比：1 V/200 V

相位B DC：精度优于满量程的2%

偏移电压：< 10mV

输出杂讯：< 50mV rms

稳态电压泄漏电流监视器

输出比：1V/100μA

DC 精度：±5μA

输出杂讯：< 50mV rms

电容性负载选择：根据系统及静电卡盘的物理构形，卡盘抓取的电容状态范围可通过程序在0-10，20 或30nF（相间）间选择。

参数

尺寸：43.7mm H x 421.6mm W x 457.3mm D

面板宽度：482.6mm

重量：3.86Kg

连接器： 15针D型ITT Canon，用于连接远程监控设备，9-针D型ITT Canon RS-232,3针 FCT D型 高压，标准A型 USB，以太网（选配）及面板

PowerON/OFF电源开/关： 2位摇杆开关

运行环境

温度： 0℃-35℃

湿度： 达85%，无结露

海拔高度：达2000m

电气参数

DC输入接口： 2.0mm 锁定DC 插孔，中心触点为正极，壳部为负极（与Switchcraft S761K 插头连接）

接地： 接地螺栓

电源要求：24VDC，1.7A